感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：三好秀和 , 三好保男 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 栗原彰 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-025864
公開番号（公開出願番号）：特開2004-004546
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】感度、解像度、耐スカム発生性及び耐めっき性が優れ、プリント配線の高密度化に有用な感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B1)下記一般式(I)で表される光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメント、この感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。(式中、複数個のXは各々独立に炭素数2〜6のアルキレン基を示し、3個のjは各々独立に1〜30の整数である)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B1)一般式(I)

IPC (7件)：

G03F7/027 , C08F290/06 , C08F299/02 , G03F7/004 , G03F7/028 , H05K3/06 , H05K3/18

FI (7件)：

G03F7/027 502 , C08F290/06 , C08F299/02 , G03F7/004 512 , G03F7/028 , H05K3/06 J , H05K3/18 D

Fターム (46件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC43 , 2H025CA28 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 4J027AC02 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027BA07 , 4J027CA02 , 4J027CA03 , 4J027CA07 , 4J027CA10 , 4J027CB10 , 4J027CC04 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 5E339AB02 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE14 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE14 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E343AA15 , 5E343AA17 , 5E343BB24 , 5E343CC63 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG08

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