特許
J-GLOBAL ID：200903045072518054
微動機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027522
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230971
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 バネ要素を微動機構側に設け、試料表面に対し三次元に走査させる構成からなる原子間力顕微鏡や磁気力顕微鏡といったプロ-ブ顕微鏡に用いられる微動機構において鉛直方向に関わる微動機構にかかる負荷を低減し、追従性の向上を図った構成にしたプロ-ブ顕微鏡用の微動機構の提供を目的とするものである。【解決手段】 三次元(X,Y,Z)に走査する微動機構において、固定端側に面内(X,Y)に動作する部分を設け、前記面内(X,Y)に動作する部分の先に鉛直方向(Z)に動作する部分を配置し、前記面内(X,Y)に動作する部分と前記鉛直方向(Z)に動作する部分の境にレ-ザ-およびレンズ系を保持させ、前記鉛直方向(Z)に動作する部分の先にバネ要素を設けた構成にした。
請求項（抜粋）：
試料と試料から受ける原子間力及び磁気力等の物理量を検出する機構を3次元的に相対運動させる、粗い位置決め的な粗動機構及び微細な位置決め的な微動機構と、前記試料と前記原子間力及び磁気力等の物理量を検出する機構間を一定の距離に保つ制御手段と、設置環境からくる装置への振動伝達を低減させる除振機構と、装置全体を制御する制御部及びコンピュータを有し、前記物理量を検出する機構を前記微動機構側に配置した構成からなる、試料表面の形状及び状態を観察するプロ-ブ顕微鏡における、前記物理量を検出する機構がバネ要素および光学部品(レ-ザ-、レンズ、光検出素子)からなり、前記バネ要素側を試料表面に対し、三次元(X,Y,Z)に走査する微動機構において、固定端側に面内(X,Y)に動作する部分を設け、前記面内(X,Y)に動作する部分の先に鉛直方向(Z)に動作する部分を配置し、前記面内(X,Y)に動作する部分と前記鉛直方向(Z)に動作する部分の境にレ-ザ-およびレンズ系を保持させ、前記鉛直方向(Z)に動作する部分の先にバネ要素を設けた構成にしたことを特徴とする微動機構。
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01N 37/00 F
