単結晶引上装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-232910
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081581
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】大重量の単結晶を製造する際に単結晶の落下を生ずることなく安全に引き上げることができる単結晶引上装置を提供する。【解決手段】引上げられる単結晶に逆円錐状の係合段部を形成させるワイヤ式のメイン引上手段と、その係合段部を係合部材を介して把持する保持機構と、この保持機構を昇降させるワイヤ式のサブ引上手段を備える単結晶引上装置であって、前記サブ引上手段には保持機構の傾き防止手段が設けられ、前記メイン引上手段の引上速度と同調して前記保持機構を上昇させることを特徴とする単結晶引上装置。上記メイン引上手段、サブ引上手段の駆動モーターは速度制御および張力制御方式とするのが望ましい。さらに、上記保持機構にはクランプ爪、リンクレバー、ピンまたは長穴を有し、係合すべき係合段部の形状に整合する係合部材が設けられることが望ましい。

請求項（抜粋）：

回転されつつ引上げられる単結晶に逆円錐状の係合段部を形成させるワイヤ式のメイン引上手段と、その単結晶の係合段部を係合部材を介して把持する保持機構と、この保持機構を昇降させるワイヤ式のサブ引上手段を備える単結晶引上装置であって、前記サブ引上手段は保持機構の傾き防止手段を介して保持機構を昇降させ、前記メイン引上手段の引上速度と同調して前記保持機構を上昇させることを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502 F

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