特許

J-GLOBAL ID：200903045078395639

張力測定方法及び張力測定装置

発明者： 杉原 理
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192040
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028453
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 非接触で迅速にメンブレンの張力を測定する。【解決手段】 一様な張力で張られたメンブレン9に対してスピーカ105から音波を与えることでメンブレン9を振動させる。メンブレン9の振動をレーザドップラ振動計101で測定し、メンブレン9の固有振動の基本振動数に基づいてメンブレン9の張力を算出する。

請求項（抜粋）：

一様な張力で張られた膜に対して音波を与えることで該膜を振動させ、該膜の振動を光学的に測定することで、その測定データに基づいて前記膜の張力を算出することを特徴とする張力測定方法。

IPC (5件)：

G01L 5/04 ,  G01N 3/00 ,  G01N 29/12 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01L 5/04 Z ,  G01N 3/00 P ,  G01N 29/12 ,  G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 H

Fターム (36件)：

2F051AA21 ,  2F051AB04 ,  2F051AC01 ,  2F051CA00 ,  2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AE03 ,  2G047AA05 ,  2G047AB00 ,  2G047AD08 ,  2G047BA04 ,  2G047CA07 ,  2G047EA09 ,  2G047EA19 ,  2G061BA16 ,  2G061CA20 ,  2G061CB01 ,  2G061CB06 ,  2G061DA20 ,  2G061EA06 ,  2G061EB10 ,  2G061EC02 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA20 ,  4M106BA05 ,  4M106BA20 ,  4M106CA56 ,  4M106DH01 ,  4M106DH20 ,  4M106DH32 ,  4M106DJ01 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ33

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 膜面の張力測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-149932   出願人：日本電信電話株式会社
• プローブカード及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-315027   出願人：松下電器産業株式会社