特許

J-GLOBAL ID：200903045078801130

薬液供給装置

発明者： 矢島 丈夫
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-224186
公開番号（公開出願番号）：特開平10-061558
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】 構造が簡単で信頼性に優れた薬液供給装置を提供する。【解決手段】 径方向に弾性膨張収縮自在の可撓性チューブ13には、供給側開閉弁21が設けられた供給側流路17と、吐出側開閉弁22が設けられた吐出側流路19とが接続されており、可撓性チューブ13の外側には軸方向に弾性変形自在のベローズ14が配置されている。このベローズ14は小型ベローズ部24と大型ベローズ部25とを有し、可撓性チューブ13とベローズ14との間のポンプ室42には非圧縮性媒体43が封入されている。小型ベローズ部24と大型ベローズ部25との間の作動ディスク部を軸方向に変位させて、ベローズ14の内側の容積を変化させることにより、可撓性チューブ13が径方向に膨張収縮してポンプ動作が行われる。

請求項（抜粋）：

それぞれ弾性部材により形成された小型ベローズ部と、この小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有して、軸方向に弾性変形自在のベローズと、前記ベローズの一端部と薬液収容部との間に接続され、供給側開閉弁が設けられた供給側流路と、前記ベローズの他端部と薬液吐出部との間に接続され、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路と、前記ベローズを軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させる一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記大型ベローズ部を収縮させる駆動手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。

IPC (3件)：

F04B 43/10 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F04B 43/10 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-008485
  
• 特開昭54-051004