特許

J-GLOBAL ID：200903045086100699

情報記録媒体およびその製造方法

発明者： 大川 秀樹 ,  吉田 展久 ,  松原 基成
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259363
公開番号（公開出願番号）：特開平7-093807
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】本発明は、長期間にわたって安定して優れた記録感度を維持することができる情報記録媒体およびその製造方法を提供することを目的とする。【構成】基板上に形成された保護膜と、前記保護膜上に形成されており、Krガスを用いたスパッタリングにより形成されたGeSbTeからなる第1の記録膜と、前記第1の記録膜上に形成されており、比較的光吸収係数が大きい材料からなる第2の記録膜とを具備することを特徴とする。また、基板上に金属酸化物、金属窒化物、金属硫化物、およびこれらの積層体からなる群より選ばれた材料からなる保護膜を形成する工程と、Krガスを用いてスパッタリングすることにより前記保護膜上にGeSbTe合金を被着して第1の記録膜を形成する工程と、前記第1の記録膜上に比較的光吸収係数が大きい材料からなる第2の記録膜を形成する工程とを具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された保護膜と、前記保護膜上に形成されており、Krガスを用いたスパッタリングにより形成されたGeSbTeからなる第1の記録膜と、前記第1の記録膜上に形成されており、比較的光吸収係数が大きい材料からなる第2の記録膜とを具備し、前記第1および第2の記録膜に記録光を照射することにより、前記第1および第2の記録膜の材料が合金化して光学的特性を変化させて記録が行われることを特徴とする情報記録媒体。

IPC (3件)：

G11B 7/24 521 ,  G03C 1/725 ,  G11B 7/26 531