特許
J-GLOBAL ID：200903045091228512
表面検査装置における照明装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 修一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045028
公開番号（公開出願番号）：特開平5-199442
出願日： 1992年01月20日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、側射光と落射光の切換及びその光量を相対的に変化させることを可能にする表面検査装置用照明装置を提供することを目的とする。【構成】 鏡筒1内の周囲に光ファイバー3を配置しその先端前方に筒状光導体11とミラーから成る側射用光学系と、ミラー13とミラー15から成る落射用光学系とを設け、これら両光学系と前記光ファイバー3間に光路切換用分割リングレンズ4を配置する。
請求項（抜粋）：
鏡筒内の周囲に光ファイバーを配置し、その先端前方に光ファイバーの出射光を側射光とする側射光用光学系と、落射光とする直射光用光学系とを設けると共に、前記光ファイバーの出射光を前記側射光用光学系又は落射光用光学系へ振り変える手段を設けたことを特徴とする表面検査装置における照明装置。
引用特許：
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