特許
J-GLOBAL ID：200903045098426700
加工用レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-194802
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050442
出願日： 1993年08月05日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 比較的短波長のレーザ光で均一な加工面を得るレーザ加工に用いるレーザ光を、基本波レーザ光を短波長に変換することによって得ることを可能にした加工用レーザ装置を提供する。【構成】 非線形光学結晶8,10として位相整合の許容入射角の大きいものを用い、かつ、この非線形光学結晶の位相整合許容入射角の範囲内において、基本波レーザ装置の出力鏡2から出射される基本波レーザ光のビーム発散角を大きく設定することにより、波長変換効率を比較的高く維持しつつマルチモードの加工用レーザ光を得る。
請求項（抜粋）：
基本波レーザ光を発生する基本波レーザ装置と、前記基本波レーザ光の波長を短波長に変換して出射する非線形光学結晶とを有し、前記非線形光学結晶として位相整合の許容入射角の大きいものを用い、前記非線形光学結晶の位相整合許容入射角の範囲内において、前記基本波レーザ装置から出射される基本波レーザ光のビーム発散角を大きく設定することによりマルチモードの加工用レーザ光を得ることを特徴とした加工用レーザ装置。
IPC (5件)：
H01S 3/109
, G02F 1/35 505
, G02F 1/37
, H01S 3/101
, H01S 3/115
