特許
J-GLOBAL ID：200903045100699973
エキシマレーザ装置のガス供給装置及びそのレーザガス交換、レーザガス注入、異常処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296021
公開番号（公開出願番号）：特開平9-116214
出願日： 1995年10月20日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 ハロゲン吸蔵物質を使用したハロゲン発生器をレーザ装置に組み込み、安全で、しかも精度良くハロゲンを供給できると共に、レーザ装置全体の小型化、及び信頼性の向上が図れるエキシマレーザのガス供給装置を提供する。【解決手段】 ハロゲン発生器10の入力ポート側に、バッファガス供給ライン24又はバッファガスとレアガスとの混合ガス供給ライン27のいずれか一方を接続し、ハロゲン発生器10の出力ポート側に、ハロゲンガス供給ライン14を介してレーザチャンバ1を接続する。入力ポート側に交換用入力バルブ60及び入力用継手62を配設し、出力ポート側に交換用出力バルブ65及び出力用継手67を配設し、ハロゲン発生器10を単体で着脱可能としてもよい。また、出力ポート側にハロゲンガス供給ライン14を介して直接レーザチャンバ1を接続し、レーザチャンバ1のレーザチャンバガス供給ライン7側にレーザチャンバ用バルブ8及びレーザチャンバ用継手61を配設し、レーザチャンバ1及びハロゲン発生器10を一体で交換可能としてもよい。
請求項（抜粋）：
レーザチャンバ(1) 内にバッファガスとレアガスとハロゲンガスとの混合ガスをレーザガスとして供給し、このレーザガスを励起してレーザ光を発振させると共に、レーザ光の特性が所望の特性になるように、ハロゲン発生器(10)のハロゲン吸蔵物質(11)を所定の温度に制御して所定の分圧で発生させたハロゲンガスの注入量の制御によってレーザチャンバ(1) 内のハロゲンガス分圧を制御するエキシマレーザ装置において、ハロゲン発生器(10)の入力ポート側には、バッファガス供給ライン(24)又はバッファガスとレアガスとの混合ガス供給ライン(27)のいずれか一方を接続し、ハロゲン発生器(10)の出力ポート側には、ハロゲンガス供給ライン(14)を介してレーザチャンバ(1) を接続したことを特徴とするエキシマレーザ装置のガス供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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