光学素子とその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165584
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343518
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタやエレクトロルミネッセンス素子といった光学素子のインクジェット方式による製造方法において、隣接する画素間での混色及び白抜けを防止する。【解決手段】隔壁を形成した支持基板にドライエッチング処理を施した上で、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気下でのプラズマ処理を施し、支持基板表面に親インク性を付与すると同時に隔壁表面に撥インク性と表面粗さを付与し、該隔壁に囲まれた領域にインクジェット方式によりインクを付与して画素を形成する。

請求項（抜粋）：

支持基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを少なくとも有する光学素子の製造方法であって、支持基板上に樹脂組成物からなる隔壁を形成する工程と、酸素、アルゴン、ヘリウムから選択される少なくとも1種のガス雰囲気下で、上記隔壁を形成した支持基板にプラズマ照射するドライエッチング処理工程と、少なくともフッ素原子を含有するガス雰囲気下で、上記ドライエッチング処理を施した支持基板にプラズマ照射するプラズマ処理工程と、インクジェット方式により隔壁に囲まれた領域にインクを付与して画素を形成する工程と、を有することを特徴とする光学素子の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 , B41J 2/01 , G02F 1/1335 500 , G02F 1/1335 505 , H01L 21/3065

FI (5件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 500 , G02F 1/1335 505 , B41J 3/04 101 Z , H01L 21/302 A

Fターム (35件)：

2C056FB01 , 2C056FB08 , 2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA64 , 2H048BB01 , 2H048BB02 , 2H048BB14 , 2H048BB42 , 2H091FA02Y , 2H091FA35Y , 2H091FB04 , 2H091FC01 , 2H091FC26 , 2H091FD04 , 2H091GA08 , 2H091GA13 , 2H091LA03 , 5F004AA13 , 5F004BA04 , 5F004BB13 , 5F004BB18 , 5F004BB19 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA02 , 5F004DA03 , 5F004DA16 , 5F004DA18 , 5F004DA26 , 5F004DB03 , 5F004DB23 , 5F004DB25 , 5F004EB08 , 5F004FA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

カラーフィルター及び液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-206328 出願人：キヤノン株式会社
ディスプレー用カラーフィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245267 出願人：積水化学工業株式会社
樹脂被覆金属材とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-094294 出願人：住友金属工業株式会社

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