特許

J-GLOBAL ID：200903045116327197

熱式流量計

発明者： 菊地 徹 ,  矢島 泰人
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355801
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172606
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 気体通路内に配した流量検知用の発熱抵抗体素子から流通気体への伝熱量の変化による該素子の抵抗値変化を検知して、流通気体量を測定する熱式流量計において、前記発熱抵抗体素子に塵埃やオイル分等が付着することによって生じる、該発熱抵抗体素子の出力変化を補正し得るようにして、検出精度が長期に亘って維持されるようにする。【構成】 空気通路30内に、発熱抵抗体素子32に向かって所定の光を投射する投光装置40と、発熱抵抗体素子32を通過した光を受光する受光装置42とを設け、受光装置42における受光量より発熱抵抗体素子32上に付着した塵埃量を検出すると共に、該検出結果に基づいて、発熱抵抗体素子32の出力変化を補正するようにした。

請求項（抜粋）：

気体通路内に発熱抵抗体素子を設け、該発熱抵抗体素子から流通気体への伝熱量の変化による該発熱抵抗体素子の抵抗値変化を検知して、該気体通路内の流通気体量を測定する熱式流量計において、前記気体通路内に、該発熱抵抗体素子に向かって所定の光を投射する投光装置と、該発熱抵抗体素子による遮断によって減光した光を受光する受光装置とを設け、該受光装置における受光量より発熱抵抗体素子上に付着した塵埃の量を検出すると共に、該検出結果に基づいて、該発熱抵抗体素子における出力変化を補正するようにしたことを特徴とする熱式流量計。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  F02D 45/00 366

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-314921
  
• 特開昭61-015754
  
• 特開平2-162494