特許

J-GLOBAL ID：200903045130538249

センサアレイ

発明者： 成瀬 雄二郎 ,  重中 圭太郎 ,  舟木 英之 ,  藤原 郁夫 ,  真塩 尚哉 ,  飯田 義典
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-273751
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083932
出願日： 2001年09月10日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 大気中や水中に微生物、細菌、ウイルス、花粉等が共存している場合において、その種類の同定をしつつ安定した定量的な測定が可能なセンサアレイを提供する。【解決手段】 検出素子(pn接合ダイオード)Dj,iを配置しているダイアフラム部1が、第1支持脚2aと第2支持脚2bにより中空状態でアレイ分離領域3に支持されている。アノード領域51,カソード領域52及びカソードコンタクト領域53からなる検出素子(pn接合ダイオード)Dj,iが、微小空洞領域Ci,jの蓋若しくは屋根となるダイアフラム部1の内部に収納されている。微小空洞領域Cj,iの内部の底部には層状の反応物である固定化酵素41が配置されている。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上、若しくは該基板の内部にアレイ状に配列された複数の微小空洞領域と、該複数の微小空洞領域のそれぞれの上部を覆うように配置されたダイアフラム部と、該ダイアフラム部を囲むアレイ分離領域と、該アレイ分離領域と前記ダイアフラム部とを接続する支持脚と、前記ダイアフラム部の内部にそれぞれ配置され、前記微小空洞領域内の状態を検出する検出素子と、前記検出素子のそれぞれからの電気信号を流す複数のビット線とを含み、前記ダイアフラム部と前記アレイ分離領域との間に前記検知対象物を通過させる間隙部を設けたことを特徴とするセンサアレイ。

IPC (7件)：

G01N 27/414 ,  C12M 1/34 ,  G01N 21/76 ,  G01N 21/78 ,  G01N 33/00 ,  G01N 33/18 ,  G01N 33/483

FI (9件)：

C12M 1/34 ,  G01N 21/76 ,  G01N 21/78 C ,  G01N 33/00 C ,  G01N 33/18 F ,  G01N 33/483 F ,  G01N 27/30 301 R ,  G01N 27/30 301 L ,  G01N 27/30 301 W

Fターム (24件)：

2G045CB01 ,  2G045CB21 ,  2G045DB03 ,  2G045DB22 ,  2G045FB01 ,  2G045FB05 ,  2G045FB11 ,  2G045FB13 ,  2G045FB15 ,  2G045GC15 ,  2G045JA04 ,  2G045JA07 ,  2G054AA01 ,  2G054AA02 ,  2G054CA03 ,  2G054CA20 ,  2G054CA28 ,  2G054CE02 ,  2G054EA02 ,  2G054GE09 ,  2G054JA01 ,  2G054JA04 ,  4B029AA07 ,  4B029FA11