特許
J-GLOBAL ID：200903045131554221
ドライクリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028576
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226461
出願日： 1992年02月15日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】静電吸着力により被処理体を保持するステージをドライクリーニングする際のクリーニングの方法として、クリーニング後の成膜やエッチング処理時の処理特性の再現性の高いクリーニング方法を提供する。【構成】ステージの静電吸着面に被処理体 (ウエーハ5) と吸着面が同一形状、または被処理体 (ウエーハ5) と立体的に同一形状の覆いを置きながらクリーニングを実施する方法とする。クリーニングの効果をより上げるために、覆いの材料は、静電吸着可能な材料, 耐クリーニング材料あるいは静電吸着可能な材料を耐クリーニング材料で被覆した材料とする。
請求項（抜粋）：
静電吸着力で被処理体を保持する機能を備えた装置のドライクリーニングにおいて、静電吸着面に被処理体と吸着面が平面的に同一形状の覆いを置きながらクリーニングを実施することを特徴とするドライクリーニング方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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