特許
J-GLOBAL ID：200903045135771154
流体供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-064057
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308619
出願日： 1995年03月23日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 脈動のない連続流量特性、環境条件に存在しない定流量特性を持ち、超高精化、超微少流量化が図れる流体供給装置を提供する。【構成】 流体の吸入孔23及び吐出孔27と、ロータ25およびこのロータ25を収納する固定部材19の間に形成された流体輸送部と、ロータと連結した軸10と、この軸10と前記固定部材の間に相対的な回転運動を与えるための回転アクチェータ35と、その駆動電源である回転運動制御部83と、回転部材と固定部材の間に相対的な揺動運動を与えるための揺動アクチェータ31と、その駆動電源である揺動運動制御部81より構成することにより、シンプルな構成で供給流量の超高精度化・超微少流量化が図れる。
請求項（抜粋）：
流体の吸入孔及び吐出孔と、ロータおよびこのロータを収納する固定部材の間に形成された流体輸送部と、前記ロータと連結した軸と、この軸と前記固定部材の間に相対的な回転運動を与えるための回転アクチェータと、その駆動電源である回転運動制御部と、前記軸と前記固定部材の間に相対的な揺動運動を与えるための揺動アクチェータと、その駆動電源である揺動運動制御部より構成されることを特徴とする流体供給装置。
IPC (2件)：
B05C 5/00 101
, F04C 2/107
