特許
J-GLOBAL ID：200903045137039663
重ね合せ精度測定機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田治米 登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189373
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013307
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 重ね合せ精度を測定する際に、重ね合せ精度を再現性良く正確に測定できるようにする。【構成】 基板保持台5に保持された基板1に光を照射し、基板1からの反射光を検出することにより重ね合せ精度を算出する重ね合せ精度測定機であって、基板1に対して異なる複数の方向から光が照射できるように光の照射方向を変化させる光方向制御手段2a、2b及び異なる複数の方向からの光の照射に基づいて得られた複数の測定値を平均化する平均化手段を有する。
請求項（抜粋）：
基板保持台に保持された基板に光を照射し、基板からの反射光を検出することにより重ね合せ精度を算出する測定機において、基板に対して異なる複数の方向から光が照射できるように光の照射方向を変化させる光方向制御手段、及び異なる複数の方向からの光の照射に基づいて得られた複数の測定値を平均化する平均化手段を有することを特徴とする重ね合せ精度測定機。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, H01L 21/66
, H01L 21/68
