特許
J-GLOBAL ID：200903045139008803
干渉顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077608
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271020
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 基準ミラーを機械的に移動させることなく、観察物体面の凹凸画像を得る。【解決手段】 レーザ光源1として波長掃引が可能な半導体レーザを用いる。フリンジスキャン制御部16が物体光と参照光との間に位相変化を与えるフリンジスキャン出力信号をレーザ制御部17に出力し、レーザ制御部17がレーザ光源1を制御する。干渉光34を位相変化させることができるため、基準ミラーを移動させる必要なく、観察物体面4の凹凸を観察することができる。
請求項（抜粋）：
波長が掃引可能なレーザ光源と、このレーザ光源の波長掃引を制御するレーザ制御部と、前記レーザ光源から射出したレーザ光を物体光と参照光とに分割する光分割手段と、前記物体光が照射される観察物体面と、この観察物体面に前記物体光を照射する物体光照射手段と、前記光分割手段との距離が前記観察物体面と光分割手段との距離と異なる位置に配置され、前記参照光が照射される基準ミラーと、この基準ミラーに前記参照光を照射する参照光照射手段と、前記観察物体面で反射した物体光及び前記基準ミラーで反射した参照光が前記光分割手段で合成された干渉光を結像させる干渉光結像手段と、この干渉光結像手段の結像位置に設置される撮像素子と、前記物体光と参照光との間に所望の位相変化を与えるフリンジスキャン出力信号を前記レーザ制御部に出力するフリンジスキャン制御部と、このフリンジスキャン制御部に所望の複数の位相変化を指令し、その複数の位相変化のそれぞれに対応する画像を前記撮像素子から取り込む演算制御手段と、この演算制御手段で得られた複数の画像を記憶する画像メモリと、この画像メモリに記憶された複数の画像から前記観察物体面の凹凸に対応する位相像を演算する位相像演算手段と、を備えていることを特徴とする干渉顕微鏡装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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