特許

J-GLOBAL ID：200903045140473129

生産履歴情報管理システム

発明者： 小藤 康男 ,  杉本 憲昭
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158331
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351526
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 任意の工程における任意の正確なデータを、所定のデータを元に瞬時に検索できる。【解決手段】 半導体製造の各工程においてインラインでワーク1に付加された識別番号を読み取るための識別番号読取装置2と、ワーク1の製造条件、識別番号データを収集してこれらのデータをサーバーコンピュータ4に登録するための設備制御装置3と、サーバーコンピュータ4に蓄積された任意のデータを閲覧することができる手段とを備えているクライアントコンピュータ5を設ける。オフラインで収集した検査データをサーバーコンピュータ4に登録すると共にサーバーコンピュータ4に蓄積された任意のデータを閲覧することができる手段を備えているクライアントコンピュータ5を設ける。

請求項（抜粋）：

半導体製造の各工程においてインラインでワークに付加された識別番号を読み取るための識別番号読取装置と、ワークの製造条件、識別番号データを収集しこれらのデータをサーバーコンピュータに登録するための設備制御装置と、サーバーコンピュータに蓄積された任意のデータを閲覧することができる手段とを備えているクライアントコンピュータと、オフラインで収集した検査データをサーバーコンピュータに登録すると共にサーバーコンピュータに蓄積された任意のデータを閲覧することができる手段を備えているクライアントコンピュータと、から構成してあることを特徴とする生産履歴情報管理システム。

IPC (5件)：

G05B 19/418 ,  B65G 61/00 310 ,  B65G 61/00 330 ,  G06F 17/60 108 ,  H01L 21/02

FI (5件)：

G05B 19/418 Z ,  B65G 61/00 310 ,  B65G 61/00 330 ,  G06F 17/60 108 ,  H01L 21/02 Z

Fターム (5件)：

3C100AA29 ,  3C100AA57 ,  3C100BB13 ,  3C100BB27 ,  3C100DD03