特許

J-GLOBAL ID：200903045142125756

プローブヘッド、その使用方法およびその製造方法

発明者： 沼澤 稔之 ,  平田 嘉裕 ,  羽賀 剛 ,  仲前 一男 ,  依田 潤 ,  岡田 一範
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-175522
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071717
出願日： 2001年06月11日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】 検査対象物の電極高さのばらつきによって、接触荷重がほとんど影響されないプローブヘッドを提供する。【解決手段】 プローブヘッド10は、フレキシブルプリント配線板11およびピストン式アクチュエータ21からなる。配線板11には、検査対象物30の複数の電極31aおよび31bにそれぞれ接触するよう、バンプ(突起部)12aおよび12bが設けられている。アクチュエータ21は、複数のピストン22aおよび22b、ならびにシリンダー体23からなる。バンプ12aおよび12bの真上で、ピストン22aおよび22bがそれぞれ配線板11を適当な圧力で押す。

請求項（抜粋）：

検査対象物の複数の電極にそれぞれ接触するための複数の突起部、および前記突起部に接続された配線を有する可とう性板と、前記複数の突起部を前記複数の電極にそれぞれ押し付けるための複数のピストンを有するアクチュエータとを備える、プローブヘッド。

IPC (5件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/073 D ,  G01R 31/26 J ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/66 B

Fターム (28件)：

2G003AA07 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G003AG20 ,  2G003AH07 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AB10 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AE03 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H092GA40 ,  2H092GA50 ,  2H092MA11 ,  2H092NA25 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA70 ,  4M106DD06 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10