特許
J-GLOBAL ID：200903045144332660
導波型光素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-159536
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352349
出願日： 1998年06月08日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 安価に製造可能でありながら適用範囲が広く、TMモードフィルタとしての性能が十分に高い導波型光素子を提供すること。【解決手段】 本発明の導波型光素子は、屈折率に異方性を有する基板1と、基板1の一方の表面に埋設されて形成された三次元型の光導波路2と、導波路2を覆って基板1の表面上に形成された構造性複屈折膜3とを有する。構造性複屈折膜3は、光導波路2の屈折率よりも大きな等方性の屈折率を有する薄膜である高屈折率層と、光導波路2の屈折率よりも小さな等方性の屈折率を有する薄膜である低屈折率層32とが、交互に積層されてなる積層体である。TMモードフィルタとしての機能を光導波路2に付与する構造性複屈折膜3は、エピタキシャル成長法を使用することなく、通常のスパッタリングで形成可能であるので、安価に製造可能でありながら、TMモードフィルタとして十分に高い性能が得られる。
請求項（抜粋）：
屈折率に異方性を有する基板と、該基板の一方の表面に埋設されて形成された三次元型の光導波路と、該光導波路を覆って該基板の該表面上に形成された構造性複屈折膜と、を有する導波型光素子において、前記構造性複屈折膜は、前記光導波路を形成する材料の屈折率よりも大きな等方性の屈折率を有する材料からなる薄膜である高屈折率層と、該光導波路を形成する材料の屈折率よりも小さな等方性の屈折率を有する材料からなる薄膜である低屈折率層とが、交互に積層されてなる積層体であることを特徴とする導波型光素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 E
, G02B 6/12 N
