特許
J-GLOBAL ID：200903045149462570
ウェーハの光学式形状測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-056487
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260873
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 主面及び裏面から得られる干渉縞を利用し、厚さ実測値で補正することにより、ウェーハの真形状を高精度で迅速且つ簡単に測定する。【解決手段】 エッジ部を介して鉛直保持されたウェーハ1の両面に二つの光学測定系10,20を対向配置し、ウェーハ1の周縁に向けて厚さ測定部50を配置する。各光学測定系10,20は、測定光を出射する発光器11,21、測定光12,22を平行ビームにするコリメータレンズ14,24、平行ビームが透過する基準平面レンズ15,25、ウェーハ1主面及び裏面で反射された測定光が基準平面レンズ15,25及びコリメータレンズ14,24を経て入射される受光器16,26と、基準平面レンズ15,25とウェーハ1主面及び裏面とで作られた干渉縞が取り込まれる演算器17を備えている。演算器17では、干渉縞から主面及び裏面の平面度を演算し、厚さ実測値を基準としてウェーハ1の真形状を求める。
請求項（抜粋）：
エッジ部を介して鉛直保持されたウェーハの両面に二つの光学測定系が対向配置され、単数又は複数の厚さ測定器がウェーハの周縁に向けて配置されており、各光学測定系は、測定光を出射する発光器と、測定光を平行ビームにするコリメータレンズと、平行ビームが透過する基準平面レンズと、ウェーハの主面及び裏面で反射された測定光が基準平面レンズ及びコリメータレンズを経て入射される受光器と、基準平面レンズと主面及び裏面とで作られたそれぞれの干渉縞が取り込まれる計算機とを備えており、両光学測定系で得られた干渉縞から主面及び裏面の平面度をそれぞれ算出し、厚さ測定器で得られたウェーハ数カ所の厚さを基準としてウェーハの真形状を算出することを特徴とするウェーハの光学式形状測定器。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 P
, G01B 11/24 C
, G01B 11/24 D
