被処理体の載置装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140139
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315293
出願日： 1992年05月02日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】ヒートパイプを用いることにより伝熱性を高める。【構成】被処理体Wを載置する載置台18と冷媒44を収容する冷却手段46との間にヒートパイプ40を形成する。これにより、このヒートパイプ40内の作動流体42の作用により上記被処理体Wに冷媒44の冷熱を応答性良く供給する。

請求項（抜粋）：

被処理体を載置する載置台と、一端が前記載置台に接触されて、内部に前記被処理体の温熱を他端に運ぶための作動流体が充填されたヒートパイプと、前記ヒートパイプの他端に接触されて、前記運ばれた温熱を排出する冷媒を有する冷却手段とを備えたことを特徴とする被処理体の載置装置。

IPC (2件)：

H01L 21/302 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

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