マイクロポンプおよび化学分析装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106219
公開番号（公開出願番号）：特開2000-297761
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】吸引制御が困難であるマイクロポンプに於いても液切れ性が良く、液の吐出後に残液滴がなく、吐出液を微量にした場合にも高い吐出精度を有するマイクロポンプ用吐出ノズルおよびそれを用いた化学分析装置を提供することである。【解決手段】液体を吐出または滴下するマイクロポンプ用吐出ノズルにおいて、液体の吐出口を含む吐出面の吐出口の周囲に溝を形成する。あるいは、液体の吐出口がノズル基板から突出するように形成する。

請求項（抜粋）：

送液室に変位を与えるためのダイアフラムが形成されたダイアフラム基板と、前記ダイアフラム基板に接合され、入口弁と、送液室と出口側への開口を形成する送液室基板と、出口側の弁を備えた出口弁基板とからなるマイクロポンプにおいて、前記出口弁基板に接合され、出口弁から吐出された液体を外部に吐出する吐出ノズルを備えたノズル基板を設け、前記吐出ノズルの周囲に溝を形成したことを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (3件)：

F04B 43/02 , F04B 43/04 , G01N 35/10

FI (3件)：

F04B 43/02 D , F04B 43/04 B , G01N 35/06 A

Fターム (9件)：

2G058ED12 , 2G058ED23 , 2G058ED24 , 3H077AA08 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE16 , 3H077FF12

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