特許

J-GLOBAL ID：200903045163343702

静電吸着電極

発明者： 伊藤 陽一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-150656
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330974
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】プラズマ等により処理されるウエハを静電吸着力により支持する静電吸着電極において、絶縁膜を安価に製作し、しかも残留吸着力をすみやかに低減する。【解決手段】静電吸着電極16をAl製の電極13上に、Al2O3にTiO2を添加して大気中で焼成して形成した絶縁膜14をろう材15により接合して製作する。また、絶縁膜14の室温における固有抵抗値を109Ω-cm以下に調節し、さらに抵抗値が0.7MΩ以下となるように膜厚、ウエハ1吸着面積を決める。

請求項（抜粋）：

プラズマにより処理されるウエハを絶縁膜との間に発生させた静電吸着力により支持する静電吸着電極において、前記絶縁膜をAl2O3にTiO2を添加して大気中で焼成して形成したことを特徴とする静電吸着電極。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B