特許
J-GLOBAL ID：200903045167626679
加速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328548
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191056
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、自己診断信号の高出力化及びセンサ応答性の向上を図ることを目的とする。【構成】 自己診断用の両電極7,8の少なくとも一方に貫通孔9を形成し、電極7に接する半導体部に貫通孔9を通してエッチング形成されたエアダンピング低減用の凹部を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
梁部及び該梁部で支持され被検出加速度に応じて変位する重り部を有し、前記梁部の表面部にピエゾ抵抗が形成された半導体チップと、該半導体チップの下部に前記重り部と所要間隔のエアギャップを有するように接合された半導体製の台座とを備え、前記エアギャップを挟んで対向する前記重り部及び台座の対向両面にはそれぞれ電極が形成され、該両電極間への印加電圧で生じる靜電力によりセンサ機能を自己診断するようにした加速度センサにおいて、前記両電極の少なくとも一方に貫通孔を形成し、該電極に接する半導体部には前記貫通孔を通してエッチング形成されたエアダンピング低減用の凹部を有することを特徴とする加速度センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/125
, C23F 1/00
, G01P 21/00
, H01L 29/84
