特許
J-GLOBAL ID：200903045167701174
画像出力装置用露光光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-220801
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053589
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 ?@音響光学変調器の回折角の固体差補正を簡単な方法で実現し、?A露光光学系の焦点ズレによる描画パターンの形状精度への影響を防止するとともに、?Bその組立性を簡素化する。【構成】 第1レンズ9の光軸を入射光40の入射軸ないしは0次光46の光軸の延長線上に配置する。又、入射光軸を移動量(回折角×第1レンズの焦点距離)だけ回折光45を含む面内で上方へ平行移動して得られる軸上に、第2レンズ11の光軸を配置する。両レンズ9、11の間隔は、両レンズの焦点距離の和に等しい。又、第2レンズ11の後側焦点は、フィルム15上の描画点と共役である。従って、第1レンズ9に入射した回折光45はフィルム15面に垂直に入射する。音響光学変調器7の回折角の固体差は、第1レンズ9又は第2レンズ11の一方を上下動させるだけで補正される。
請求項（抜粋）：
複数の光ビームからなる第一光束を画像信号が印可された光変調器によって変調することにより複数の回折光ビームからなる第2光束を作成した後、当該第2光束を感光材料に照射することにより画像を記録する画像出力装置用露光光学系であって、(a) 前記光変調器の入射光軸上にまたは当該入射光軸の近傍に光軸を、前記光変調器の回折位置近傍に前側焦点を、それぞれ有するレンズを備えてなり、且つ前記光変調器より出射した第2光束が入射する第1投影光学系と、(b) 前記入射光軸から所定の移動量だけ隔てられ且つ前記入射光軸に平行な軸上にまたは当該軸の近傍に光軸を、前記第1投影光学系より出射した第2光束の収束点近傍に前側焦点を、前記感光材料上の点に対応して後側焦点を、それぞれ有しており、且つ前記第1投影光学系より出射した第2光束が入射する第2投影光学系とを、備えたことを特徴とする画像出力装置用露光光学系。
IPC (3件)：
H01S 3/101
, B41J 2/44
, H01L 21/027
B41J 3/00 D
, H01L 21/30 321
