特許

J-GLOBAL ID：200903045167759520

磁気記録媒体用基板の研磨用パッド及び研磨方法

発明者： 吉野 邦彦 ,  近藤 正雄 ,  草野 辰一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  株式会社相模オプト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-061294
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249737
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 磁気記録媒体用基板の表面粗さを所定範囲とするための研磨用パッドと研磨方法を提供する。【解決手段】 不織布の繊維基材にポリウレタン樹脂を含浸させ、湿式凝固させ、JIS K6301で規定される硬度が75〜85である研磨用パッドで基板を研磨する。これにより、基板の平均表面粗さは13〜40Åに範囲に収まる。研磨用パッドに、所定の間隔で、所定の幅と深さの溝を設けてもよい。

請求項（抜粋）：

不織布の繊維基材にポリウレタン樹脂を含浸させ、湿式凝固させた、JIS K6301で規定される硬度が75〜85であること、を特徴とする磁気記録媒体用基板の研磨用パッド。

IPC (4件)：

B24D 11/00 ,  B24B 1/00 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

B24D 11/00 A ,  B24B 1/00 D ,  B24B 37/00 C ,  G11B 5/84 A