特許
J-GLOBAL ID：200903045170203878
窒化アルミニウム複合基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070406
公開番号（公開出願番号）：特開平5-229879
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 耐ヒートショック性が高く、低価格で、放熱用の金属部品とも容易に接合させることのできる窒化アルミニウム複合基板を提供する。【構成】 金属板2の表面上に金属-窒化アルミニウム混合体膜3を一体に形成する。混合体膜3は金属成分と窒化アルミニウム成分とからなり、その外側表面では窒化アルミニウム成分100%、金属板との接合面では金属成分100%となっており、その間では混合体膜3の厚み方向に沿って金属成分と窒化アルミニウム成分との存在比が連続的に変化している。
請求項（抜粋）：
金属板とその表面に形成された金属-窒化アルミニウム混合体膜とから構成された窒化アルミニウム複合基板であって、前記金属-窒化アルミニウム混合体膜がAl,Ag,Cu,Cr,Niのうち少なくとも1種以上の金属と窒化アルミニウムからなり、かつ、金属板との接合面側で金属成分リッチとなると共に外面側で窒化アルミニウム成分リッチとなるように当該混合体膜を構成する金属成分と窒化アルミニウム成分の存在比が当該混合体膜の厚み方向に連続的もしくは段階的に変化していることを特徴とする窒化アルミニウム複合基板。
IPC (2件)：
C04B 37/02
, C04B 35/58 104
