特許

J-GLOBAL ID：200903045170796755

MIS電界効果トランジスタ及びその製造方法

発明者： 白土猛英
出願人/特許権者： 白土 猛英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161732
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353244
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【目的】低融点金属のゲート電極及びメタルソースドレイン領域を有するMIS電界効果トランジスタの形成【構成】p型のシリコン基板1上及び内部に酸化膜を埋め込んだトレンチ素子分離領域3が設けられ、p型のシリコン基板上にゲート酸化膜6及びバリアメタル7を介して、側面及び底面にバリアメタル8を有するゲート電極9が設けられ、ゲート電極及びトレンチ素子分離領域の側壁にサイドウオール10が設けられ、ゲート電極及びサイドウオールに自己整合してそれぞれn型及びn+ 型ソースドレイン領域(4、5) が設けられ、サイドウオール間のn+ 型ソースドレイン領域上には側面及び底面にバリアメタル11を有するメタルソースドレイン領域12が設けられ、ゲート電極及びメタルソースドレイン領域の一部に形成された凸構造の突起14が薄い絶縁膜13により平坦化され、凸構造の突起直上には側面にバリアメタル16を有する導電プラグ15が設けられ、導電プラグは周囲を層間絶縁膜17により平坦に埋設され、導電プラグに配線体19が接続されているMIS電界効果トランジスタ。

請求項（抜粋）：

第1の半導体基板と、前記第1の半導体基板上及び前記第1の半導体基板に選択的に設けられた第1の絶縁膜が埋め込まれたトレンチ素子分離領域と、前記第1の半導体基板上にゲート絶縁膜及び第1のバリアメタルを介して選択的に設けられたゲート電極と、前記ゲート電極及び前記トレンチ素子分離領域の側壁に設けられた第2の絶縁膜と、前記ゲート電極に自己整合して前記第1の半導体基板に設けられた低濃度ソースドレイン領域と、前記第2の絶縁膜に自己整合して前記第1の半導体基板に設けられた高濃度ソースドレイン領域と、前記第2の絶縁膜間の前記高濃度ソースドレイン領域上に埋設された導電膜(メタルソースドレイン領域)とを備えてなることを特徴とするMIS電界効果トランジスタ。

IPC (9件)：

H01L 21/336 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/43 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/786

FI (10件)：

H01L 21/28 301 L ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 301 P ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 617 J ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 29/78 617 U ,  H01L 21/88 N ,  H01L 29/62 G ,  H01L 27/08 321 E

Fターム (175件)：

4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB30 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD03 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD66 ,  4M104DD75 ,  4M104DD94 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE15 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF00 ,  4M104FF01 ,  4M104FF06 ,  4M104FF11 ,  4M104FF13 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104HH16 ,  5F033HH09 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK08 ,  5F033KK33 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN19 ,  5F033PP07 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR14 ,  5F033SS11 ,  5F033TT07 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033XX01 ,  5F033XX10 ,  5F048AC03 ,  5F048AC05 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB13 ,  5F048BC03 ,  5F048BC06 ,  5F048BC16 ,  5F048BE03 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BG05 ,  5F048DA24 ,  5F048DA26 ,  5F110AA02 ,  5F110AA03 ,  5F110AA06 ,  5F110AA08 ,  5F110AA18 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD24 ,  5F110EE01 ,  5F110EE03 ,  5F110EE14 ,  5F110EE32 ,  5F110EE36 ,  5F110EE38 ,  5F110EE44 ,  5F110EE50 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF09 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL01 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM15 ,  5F110HM17 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN25 ,  5F110NN35 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110NN71 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ17 ,  5F110QQ19 ,  5F140AA01 ,  5F140AA06 ,  5F140AA11 ,  5F140AA15 ,  5F140AA24 ,  5F140AB03 ,  5F140AB07 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BD01 ,  5F140BD05 ,  5F140BD12 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF59 ,  5F140BF60 ,  5F140BG03 ,  5F140BG08 ,  5F140BG11 ,  5F140BG30 ,  5F140BG40 ,  5F140BG52 ,  5F140BH15 ,  5F140BH49 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ15 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ25 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK29 ,  5F140BK31 ,  5F140CA02 ,  5F140CA03 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC05 ,  5F140CC12 ,  5F140CE07 ,  5F140CE08 ,  5F140CF01 ,  5F140CF05