特許
J-GLOBAL ID：200903045175879268
半導体装置の製造方法および半導体装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福井 豊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-225636
公開番号（公開出願番号）：特開2009-059875
出願日： 2007年08月31日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：
【課題】検査用電源数の増大を抑制するとともに、単一の検査用電源の電源電流供給量を越える電源電流の供給を可能とし、半導体装置を効率的かつ確実に検査することができる検査工程を含む半導体装置の製造方法および半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置10は、同一の電源電圧で動作する半導体回路ユニット31、32、33を備える。また、半導体装置10は、外部から互いに独立して電源電圧が印加される電源線5、6、7を備える。さらに、電源線5、6、7のそれぞれが、互いに独立して半導体回路ユニット31、32、33のそれぞれに電源電圧を供給する非共通状態と、電源線5および電源線6が半導体回路ユニット31に同時に電源電圧を供給するとともに、電源線7が半導体回路ユニット32および半導体回路ユニット33に電源電圧を供給する共通状態とを選択的に切り替えるスイッチ部12を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
同一の電源電圧で動作する第1、第2および第3の半導体回路ユニットと、
外部から互いに独立して電源電圧が印加される第1、第2および第3の電源線と、
前記第1、第2および第3の電源線のそれぞれが、互いに独立して前記第1、第2および第3の半導体回路ユニットのそれぞれに電源電圧を印加する非共通状態と、前記第1の電源線および前記第2の電源線が前記第1の半導体回路ユニットに同時に電源電圧を印加するとともに、前記第3の電源線が前記第2および第3の半導体回路ユニットに電源電圧を印加する共通状態とを選択的に切り替えるスイッチ部と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。
IPC (3件)：
H01L 21/822
, H01L 27/04
, G01R 31/28
H01L27/04 T
, G01R31/28 V
2G132AA00
, 2G132AK07
, 2G132AK29
, 2G132AL09
, 2G132AL32
, 5F038BE09
, 5F038CD02
, 5F038CD15
, 5F038DF17
, 5F038DT02
, 5F038DT08
, 5F038DT09
, 5F038DT10
, 5F038DT15
, 5F038EZ20
