特許

J-GLOBAL ID：200903045178573208

ラッピング用キャリヤ

発明者： 戸室 安史 ,  戸室 博史
出願人/特許権者： サンコースプリング株式会社
代理人 (1件)： 大貫 和保 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079608
公開番号（公開出願番号）：特開2000-271858
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：

【要約】【課題】 キャリヤの上面側と下面側とにおいて研磨剤水溶液の交流を可能とすることで、キャリヤの全面において研磨剤水溶液の均一化・適量化を図り、研磨効率を向上させる。【解決手段】 キャリヤ9の上面側から下面側に貫通するように微細な複数の通孔15を一定の規則性に基づいて形成することにより、キャリヤ9の上面側に供給された研磨剤水溶液が通孔15を通ってキャリヤ9の下面側に流れ、また反対に、キャリヤ9の下面側から研磨剤水溶液が通孔15を通ってキャリヤ9の上面側に流れるようにすると共に、通孔15を通って研磨剤が下方に落下する際に、比較的大きな塊は下定盤3に当たること等によって崩れ、微細な粒状物となり、水溶液との混合性が高まるようにする。

請求項（抜粋）：

上定盤によって下定盤に押圧されると共に、内周ギア及び外周ギアの回転によって前記上定盤と下定盤との間で自転及び公転し、内部に保持した被研磨体を前記上定盤及び下定盤に摺動させて研磨するラッピング用キャリヤにおいて、外周部分に形成され、前記内周ギア及び外周ギアに噛合する歯と、前記被研磨体を保持するために、この被研磨体の形状に応じて形成される複数のワーク用孔と、上面側から下面側に貫通するように形成された微細な複数の通孔とによって構成されたことを特徴とするラッピング用キャリヤ。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 C ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (9件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA17