特許
J-GLOBAL ID:200903045181590644

表面層欠陥検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 俊郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-130353
公開番号(公開出願番号):特開平11-326236
出願日: 1998年05月13日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】【課題】感光体表面に予想される凹凸や色ムラ等すべての欠陥を効率良く適確に検出する。【解決手段】ライン状光源3によって感光体ドラム2上に写像された輝線8の境界部である位置P2でラインセンサカメラ4により感光体ドラム1を撮像して感光体ドラム1表面の凹凸欠陥を検出し、輝線8から離れた位置P3でラインセンサカメラ4により感光体ドラム1を撮像して感光体ドラ1ムの色ムラや白ポチや黒ポチの凹凸はなく色の差がある色差欠陥を検出する。
請求項(抜粋):
基材とその表面に形成された表面層とを有する被検査体に光源からライン状の光を照射し、被検査体からの反射光をラインセンサカメラで受光し、ラインセンサカメラによって得られた画像から被検査体の表面層欠陥を検出する表面層欠陥検出装置において、光源によって被検査体上に写像された輝線の境界部である位置と輝線より離れた位置の2個所でラインセンサカメラにより撮像を行うことを特徴とする表面層欠陥検出装置。

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