特許
J-GLOBAL ID:200903045182630232

酸化膜厚さ測定装置及び測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井上 春季 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-025767
公開番号(公開出願番号):特開平10-206125
出願日: 1997年01月27日
公開日(公表日): 1998年08月07日
要約:
【要約】【課題】 熱間圧延及びその後の放冷工程において生成する約5〜15μm程度の酸化膜を、非破壊・非接触で、正確かつ簡単に測定することが可能な酸化膜厚さの測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】 酸化膜厚さに対応して反射率が変化する赤外光を鋼板1の表面に照射するための赤外光源5と、鋼板1の表面からの反射赤外光強度を測定する赤外分光放射計10と、赤外光源5及び赤外分光放射計10を、光学的に外部から遮蔽して収納する収納ボックス4と、赤外分光放射計10からの出力と、予め測定した酸化膜厚さと鋼板1の表面の分光反射率の関係とに基づいて酸化膜厚さを演算する演算装置15とを備える。
請求項(抜粋):
鋼板表面に生成した酸化膜の厚さを測定するための装置であって、酸化膜厚さに対応して反射率が変化する赤外光を鋼板表面に照射するための赤外光源と、鋼板表面からの反射赤外光強度を測定する赤外分光放射計と、上記赤外光源及び赤外分光放射計を、光学的に外部から遮蔽して収納する収納ボックスと、上記赤外分光放射計からの出力と、予め測定した酸化膜厚さと鋼板表面の分光反射率の関係とに基づいて酸化膜厚さを演算する演算装置と、を備えたことを特徴とする酸化膜厚さ測定装置。
IPC (3件):
G01B 11/06 ,  G01J 3/42 ,  G01N 21/35
FI (3件):
G01B 11/06 Z ,  G01J 3/42 U ,  G01N 21/35 Z

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