特許
J-GLOBAL ID：200903045198212791
基板の位置合わせ方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026085
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190422
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 スペックルのない鮮明な位置合わせ用映像信号によって基板の位置ずれを検出して高精度の位置合わせを行なう。【構成】 ウエハ5を露光する照明系1から発生される位置合わせ用パルス光によってウエハのアライメントマークを反射させ、ミラー8によってCCDカメラ9に入射させ、得られた映像信号によってウエハ5の位置ずれを検出してステージ駆動系を駆動し、ウエハ5の位置合わせを行う。CCDカメラ9の露光時間は映像信号のスペックルを解消するのに充分長く設定する。映像信号のための光量が不足する場合は露光時間をさらに長く設定し、前記光量が過多であれば位置合わせ用パルス光の光源の発光量を減少させる。
請求項（抜粋）：
パルス光によって照射された基板の位置合わせマークからの反射光を受光する撮像手段の映像信号によって前記基板の位置ずれを検出する工程と、検出された前記位置ずれに基づいて前記基板を移動させる工程とからなり、前記撮像手段の露光時間が、前記映像信号のスペックルを解消するのに必要な長さ以上に設定されている基板の位置合わせ方法であって、前記撮像手段が前記露光時間において受光する光量が所定の値に達しない場合は、前記露光時間をより長く設定し、逆に、前記光量が所定の値を越える場合は、前記パルス光の光源の発光量を減少させることを特徴とする基板の位置合わせ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
