特許
J-GLOBAL ID:200903045204937086

ドーナツ状脆性材料基板の強度測定方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-251544
公開番号(公開出願番号):特開平7-103870
出願日: 1993年10月07日
公開日(公表日): 1995年04月21日
要約:
【要約】【目的】位置合わせの不要なドーナツ状脆性材料基板の強度測定方法および装置。【構成】ドーナツ状基板4外周部を逆円錐状斜面9において自由支持し、加圧手段により該基板内周部を該基板主面に垂直に加圧するドーナツ状基板4の強度測定方法であって、前記加圧手段による加圧が加圧治具2を介してなされる。
請求項(抜粋):
ドーナツ状基板外周部を逆円錐状斜面において自由支持し、加圧手段により該基板内周部を該基板主面に垂直に加圧するドーナツ状基板の強度測定方法であって、前記加圧手段による加圧が加圧治具を介してなされることを特徴とするドーナツ状脆性材料基板の強度測定方法。
IPC (2件):
G01N 3/08 ,  G01M 19/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平2-126134
  • 特開平1-267434
  • 特開昭51-088082

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