特許
J-GLOBAL ID：200903045206584407
イオン加速電極板及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159690
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006057
出願日： 1997年06月17日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】安価な金属材料から成る薄板を用いて高い冷却効率を有するイオン加速電極板を製造する。【解決手段】銅あるいは銅合金から成り一面に複数の冷却溝2が形成された基板3の各冷却溝2にその冷却溝2の形状に等しく且つ溶解除去可能な埋め込み材4を埋設してその冷却溝形成面を平面化し、この平面化された冷却溝形成面に対して薄板1と同等の銅あるいは銅合金を層状にコーティングして冷却溝形成面に板状の金属材料層5を形成し、金属材料層5が形成された基板3から埋め込み材4を溶解除去して複数の冷却溝2及び金属材料層5で複数の冷却水通路2aを形成し(図3参照)、複数の冷却水通路における隣接する冷却水通路2a間にイオンビーム引き出し用のビーム孔7を加工形成している(図4及び図5参照)。
請求項（抜粋）：
高熱伝導性金属あるいはその合金から成り一面に冷媒流通用の複数の冷却溝が形成された薄板の各冷却溝にその冷却溝の形状に等しく且つ溶解除去可能な埋め込み材を埋設して当該冷却溝形成面を平面化し、この平面化された冷却溝形成面に対して前記薄板と同等の金属材料を層状にコーティングして当該冷却溝形成面に板状の金属材料層を形成し、この金属材料層が形成された薄板から前記埋め込み材を溶解除去することにより前記複数の冷却溝及び前記金属材料層で複数の冷却水通路を形成し、これら複数の冷却水通路における隣接する冷却水通路間にイオンビーム引き出し用のビーム孔を加工形成したことを特徴とするイオン加速電極板の製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/32
, H01J 27/02
, H01J 37/08
, H05H 1/22
, H05H 5/02
C23C 14/32 C
, H01J 27/02
, H01J 37/08
, H05H 1/22
, H05H 5/02
