特許

J-GLOBAL ID：200903045206875770

ネガ型放射感応性混合物、およびこの混合物を使用して製造した放射感応性記録材料

発明者： ホルスト、レシェルト ,  ユルゲン、フックス ,  ワルター、シュピース ,  シャルロッテ、エッケス ,  ゲオルク、パウロスキー ,  ラルフ、ダメル
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124074
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197149
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 高解像度、高感度、高熱安定性で、照射により腐食性光分解物を生成しないネガ型放射感応性混合物、およびこの混合物を使用して製造した放射感応性記録材料を提供する。【構成】 a)活性線放射の作用により強酸を発生する化合物、b)酸により架橋し得る少なくとも2個の基を有する化合物、およびc)水に不溶で、アルカリ水溶液に可溶である、または少なくとも膨潤し得る重合体結合剤を含む放射感応性混合物であって、化合物(a)が、それぞれ2、3または4個の式R-SO3 Hのスルホン酸によりエステル化され、さらに基R' により置換されていてもよく、RおよびR' が同一の、または異なった意味を有し、Rが(C1 〜C10)アルキル基等であり、R' はRに対して与えられる基の一つであり、または(C1 〜C10)アルカノイル基等である、ジ-、トリ-、またはテトラ-ヒドロキシベンゼンである。

請求項（抜粋）：

a)活性線放射の作用により強酸を発生する化合物、b)酸により架橋し得る少なくとも2個の基を有する化合物、およびc)水に不溶で、アルカリ水溶液に可溶である、または少なくとも膨潤し得る重合体結合剤を含むネガ型放射感応性混合物であって、化合物(a)が、それぞれ2、3または4個の式R-SO3 Hのスルホン酸によりエステル化され、さらに基R' により置換されていてもよく、RおよびR' が同一の、または異なった定義を有し、Rが(C1 〜C10)アルキル、(C5 〜C10)シクロアルキル、(C6 〜C10)アリール、(C6 〜C10)アリール-(C1 〜C10)アルキルまたは(C3 〜C9 )ヘテロアリール基であり、これらの基はさらに置換されていてもよく、R'はRに対して与えられる基の一つである、または(C1 〜C10)アルカノイル、(C1 〜C16)アルコキシカルボニルまたは(C7 〜C11)アロイル基である、ジ-、トリ-、またはテトラ-ヒドロキシベンゼンであることを特徴とする、ネガ型放射感応性混合物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-245756
  
• 特開平4-291259