精密寸法測定機及び精密内径測定機

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095247
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292010
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】対象物の寸法や内径等を高精度、高応答速度で測定することができ、且つコンパクトな精密測定機及び精密内径測定機を提供する。【構成】測定内径Wに内径測定用ヘッド本体10を挿入する。即ち、測定子16、18はリニアガイド14によって平行移動されるとともにバネ20、21によって管Wの内壁に接触するまで拡げられる。この時、測定子16、18の変位量に対して、前記テーパ部材22の上面に形成された鏡面22bの上下方向の移動量はテーパ面16a、22aの傾斜角度φによって tanφ倍に縮小された形で現れる。この変換された変位量をヘテロダイン干渉を利用した光ファイバ式レーザ干渉計40の検出プローブ42で検出するようにしている。これにより、メカ的な誤差も小さくできるとともに実質的に変位検出の応答速度を上げることができ、微少な変位を高精度に検出することができる。しかも、従来のリニアスケールや差動トランス型検出器を利用するものに比べて、簡単な構成部品で実現することができ、測定機本体を小型・軽量に構成することができる。

請求項（抜粋）：

測定機本体と、前記測定機本体に対して被測定物の測定方向に進退自在に配設された測定子と、前記測定機本体に配設され、前記測定子の変位に応じて平行移動するテーパ面を有するテーパ部材と、前記テーパ面の平行移動によって光路長が変化するように前記測定機本体に対して光ファイバ先端の検出プローブが配置され、該光路長の変化を検出する光ファイバ式レーザ干渉計と、から成ることを特徴とする精密寸法測定機。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01B 5/00 , G01B 5/12

FI (4件)：

G01B 11/00 F , G01B 11/00 G , G01B 5/00 B , G01B 5/12

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