特許
J-GLOBAL ID：200903045249878145
放電処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-098803
公開番号（公開出願番号）：特開平9-286604
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 誘電体表面の線状電極間の間隔L全域に沿面放電を発生させて、オゾンガス発生効率を向上させる。【解決手段】 誘電体7の表面に、一定間隔Lをおいて複数の線状電極4,4が配置されている。誘電体7の背面に背面電極3が設けられ、線状電極4,4と背面電極3との間に、交流電源5から高電圧が印加される。線状電極4,4間の間隔Lは、原料ガス密度をn、放電長をd、L=ndとしたとき、nd値が2.2×1018cm-2以下となるように定められている。このように間隔Lを定めることにより、誘電体7表面の線状電極4,4間の間隔L全域に沿面放電が発生する。
請求項（抜粋）：
誘電体と、この誘電体の表面に一定間隔をおいて配置された複数の線状電極とを備え、誘電体表面に生じる無声放電により、供給される原料ガスを処理する放電処理装置において、線状電極間の間隔Lは、n=原料ガス密度、d=放電長、L=2dとしたとき、nd値が2.2×1018cm-2以下の条件を満たすよう定められていることを特徴とする放電処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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