特許
J-GLOBAL ID：200903045250603788
結晶質珪素超微粒子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227188
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072705
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、紫外光レーザーを用いることにより、極めて結晶性が良く、粒子径が10〜200nmで非常に均一な分布を示し、しかも球状の珪素超微粒子を製造できる方法を提供する。【構成】 気体状シリコン化合物に、紫外光レーザービームを照射することにより該化合物を励起して分解反応を促進し、珪素粒子を生成させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
気体状シリコン化合物に、紫外光レーザービームを照射することにより該化合物を励起して分解反応を促進し、珪素粒子を生成させることを特徴とする結晶質珪素超微粒子の製造方法。
IPC (2件)：
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