液体塗布装置及び液体塗布方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-028679
公開番号（公開出願番号）：特開平11-221506
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】塗布対象物に塗布する液体の塗布対象物に対する注入量を少なくし、液体の回収及び特性の補正を不要とし、塗布領域以外への液体の付着を少なくし、さらに、液体の注入の時間差による塗布ムラが生じないようにする。【解決手段】塗布対象物101に塗布される液体2を、略々直線状に配列され塗布対象物101の塗布部102に対向された複数の細孔ノズル4より塗布部102に向けて吐出する。塗布部102と複数の細孔ノズル4とを、複数の細孔ノズル4の配列方向に直交する方向に相対移動させる。複数の細孔ノズル4は、塗布部102と複数の細孔ノズル4との相対移動の方向に直交する方向についての塗布部102の最大長部の長さに相当する長さに亘って配列させてある。

請求項（抜粋）：

略々直線状に配列され、塗布対象物の塗布部に対向されて、該塗布部に向けて液体を吐出させる複数の細孔ノズルと、上記複数の細孔ノズルより液体が吐出されているときに、上記塗布部と該複数の細孔ノズルとを、該複数の細孔ノズルの配列方向に直交する方向に相対移動させる移動操作機構とを備え、複数の細孔ノズルは、上記塗布部と該複数の細孔ノズルとの相対移動の方向に直交する方向についての該塗布部の最大長部の長さに相当する長さに亘って配列されていることを特徴とする液体塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , H01J 9/227

FI (3件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , H01J 9/227 C

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