特許

J-GLOBAL ID：200903045268605419

試料移動台

発明者： 生方 孝男 ,  森田 一弘 ,  会沢 則之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076967
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271184
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】試料移動台を移動させる場合、計算機が移動開始位置と目標停止位置に応じたオフセット量を採用するようにする。装置の劣化によるオフセット量の変更やオペレータによるオフセット量調整が、自動的に行うようにする。【解決手段】ステージ6の移動開始位置7と目標停止位置9からオフセット情報記憶メモリ3より該当する採用オフセット量10を使用し、現在位置測定装置2と計算器1よりモータ4を制御しステージ6の移動を行う。

請求項（抜粋）：

摺動機構を用い試料台を移動する試料移動台において、移動開始位置および目標停止位置に応じたオフセット量を採用し試料台を移動させることを特徴とする試料移動台。

IPC (3件)：

G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

G01N 1/00 101 B ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/20 D ,  G01N 1/28 W