セラミツクヒータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-191889
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036470
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】窒化珪素質焼結体の高い強度を保持しつつ、発熱抵抗体の断線や抵抗変化は勿論、窒化珪素質焼結体の組織の劣化もなく、かつ耐酸化性及び耐久性に優れ、急速昇温特性の良好な高温での長時間の連続使用を可能とする。【構成】無機導電材からなる発熱抵抗体2を、希土類元素が酸化物換算で8〜19重量%及び酸化珪素(SiO2 )が2〜7重量%、かつモリブデン(Mo)の珪化物またはチタン(Ti)の窒化物が7〜20重量%含有して成る窒化珪素質焼結体3中に埋設し、側面にそれぞれメタライズ層を介してリード線6を担持した電極取出金具7をろう接することにより、発熱抵抗体2が電極取出金具7を経てリード線6に電気的に接続されてセラミックヒータ1を構成する。

請求項（抜粋）：

無機導電材からなる発熱抵抗体を窒化珪素質焼結体中に埋設したセラミックヒータにおいて、前記窒化珪素質焼結体が希土類元素を酸化物換算で8〜19重量%及び酸化珪素(SiO2 )を2〜7重量%の割合で含有し、かつモリブデン(Mo)の珪化物またはチタン(Ti)の窒化物を7〜20重量%含有して成ることを特徴とするセラミックヒータ。

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