特許
J-GLOBAL ID：200903045287420136
感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045663
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249663
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【構成】それにより形成された感光性組成物膜の露光波長における光学的膜厚が露光処理時に経時的に変化するものであることを特徴とする感光性組成物。【効果】膜内多重反射による影響が少ないため、感光性組成物の塗布膜厚の変動による線幅変動が小さい。
請求項（抜粋）：
それにより形成された感光性組成物膜の露光波長における光学的膜厚が露光処理時に経時的に変化するものであることを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 521
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
