特許

J-GLOBAL ID：200903045287973240

有機高分子薄膜の作製方法

発明者： 西本 卓矢 ,  友松 功 ,  久保木 尚文
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197865
公開番号（公開出願番号）：特開平7-026023
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】【目的】 表面保護膜、非線形光学膜、液晶配向膜、分離膜等に用いられる有機高分子薄膜の作製方法を提供する。【構成】 2種以上の重合性原料モノマーを真空容器中に導入し、前記真空容器中の基体上で蒸着重合させて有機高分子薄膜を作製する方法において、一定温度に保って密閉容器に収容された前記重合性原料モノマーのそれぞれの中を、一定流量のキャリアガスを通過させた後、それぞれの重合性原料モノマーガスを含有したキャリアガスを真空容器中に導入することを特徴とするものである。【効果】 重合性原料モノマーが固体の場合、液体の場合を問わず、キャリアガスの流量調整により、重合性原料モノマーの蒸発量を精度良く制御できることから、より純度の高い有機高分子薄膜を作製できる。

請求項（抜粋）：

2種以上の重合性原料モノマーを真空容器中に導入し、前記真空容器中の基体上で蒸着重合させて有機高分子薄膜を作製する方法において、一定温度に保って密閉容器に収容された前記重合性原料モノマーのそれぞれの中を、一定流量のキャリアガスを通過させた後、それぞれの重合性原料モノマーガスを含有したキャリアガスを真空容器中に導入することを特徴とする有機高分子薄膜の作製方法。

IPC (3件)：

C08G 85/00 NUX ,  C08G 18/32 NDT ,  C08G 73/10 NTF