特許

J-GLOBAL ID：200903045294652921

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者： 豊田 光紀 ,  谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252363
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068604
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：

【要約】【課題】 光源からの光束の中心軸線を光学系の基準光軸に対して位置合わせすることのできる照明光学装置。【解決手段】 光源(1)とマイクロレンズアレイ(10)との間の光路中に配置されて光源からの光束を所定の断面形状を有する光束に変換する光束変換素子(4)を含み、マイクロレンズアレイの入射面上に所定形状の照野を形成する照野形成光学系(4〜9)と、マイクロレンズアレイの入射面と光束変換素子との間の光路中に配置された光分割部材(14)と、マイクロレンズアレイの入射面と光学的にほぼ共役な位置に配置されて、光分割部材により分割された光束を受光する光電変換素子(15)と、光電変換素子からの出力に基づいて光源からの光束と所定面との位置関係を求める演算部(21)とを備えている。

請求項（抜粋）：

光源からの光束に基づいて多数光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータからの光束を被照射面へ導くための導光光学系とを備えた照明光学装置において、前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置されて前記光源からの光束を所定の断面形状を有する光束または所定の光強度分布を有する光束に変換するための光束変換素子を含み、該光束変換素子からの光束に基づいて前記オプティカルインテグレータに対して所定の位置関係を有する所定面上に所定形状の照野を形成するための照野形成光学系と、前記所定面と前記光束変換素子との間の光路中に配置された光分割部材と、前記所定面と光学的にほぼ共役な位置に配置されて、前記光分割部材により分割された光束を受光するための光電変換素子と、前記光電変換素子に接続されて、前記光電変換素子からの出力に基づいて前記光源からの光束と前記所定面との位置関係を求める演算部とを備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G02B 27/09 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

G02B 19/00 ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  G02B 27/00 E

Fターム (15件)：

2H052BA02 ,  2H052BA06 ,  2H052BA08 ,  2H052BA12 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DB12 ,  5F046DC02