特許

J-GLOBAL ID：200903045298511397

形状計測装置

発明者： 光谷 直樹 ,  半田 博久 ,  川▲崎▼ 和彦 ,  配野 宏
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-041620
公開番号（公開出願番号）：特開2001-227927
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 被計測物の観測面の形状計測を正確に行うことができると共に、装置全体の小型化と軽量化を図ることができる形状計測装置を提供する。【解決手段】 位相シフト干渉縞画像同時計測装置100は、主として、レーザ光源11と、全反射ミラー15と、ビームスプリッタ21と、参照面23と、λ/4波長板24と、3分光プリズム32と、単一の撮像装置36とから成りる。レーザ光源11からの光束は全反射ミラー15で反射され、さらに、ビームスプリッタ21を透過する。次いで、参照面23の表面からの反射光は参照光として利用され、そして、この参照光と、被計測物101の被検面102からの計測光を含む無干渉光束とは、ビームスプリッタ21により反射される。ビームスプリッタ21で反射された光学的無干渉状態の光束は、λ/4波長板31を透過した後、3分光プリズム32により、第1分光光束41、第2分光光束42、第3分光光束43に分光され、夫々、単一の撮像装置36に照射されて、これにより撮像装置36は3つの干渉縞画像を取得する。

請求項（抜粋）：

被計測物の観測面からの光学的反射像と参照面からの光学的反射像とを干渉させる干渉光学系と、前記干渉により生じた干渉光を少なくとも3つの光束に分光する分光手段と、前記分光された少なくとも3つの光束を夫々所定の位相シフト量シフトするシフト手段と、前記所定の位相シフト量シフトして得られた少なくとも3つの干渉縞画像を同時に取得する干渉縞画像取得手段と、前記取得された少なくとも3つの干渉縞画像及び前記所定の位相シフト量を用いて少なくとも3つの干渉縞画像情報を算出し、当該少なくとも3つの干渉縞画像情報から前記観測面の形状を算出する算出手段を備える形状計測装置において、前記干渉縞画像取得手段は前記干渉縞画像の数より少ない数の撮像装置から成ることを特徴とする形状計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K

Fターム (28件)：

2F064AA09 ,  2F064CC01 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG23 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG53 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F065AA53 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065FF49 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL47 ,  2F065QQ31