特許

J-GLOBAL ID：200903045301157982

基板構造体の製造方法

発明者： 渡辺 治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 近島 一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334832
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152318
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 製造段階におけるガラス基板の割れを防止する。【解決手段】 高温下のスパッタ法によってガラス基板の特定の領域に薄膜(絶縁体膜)を形成するに際して図に示すようなマスク部材Fを用いるが、このマスク部材Fには、絶縁体膜を形成する領域に開口部E1 を設けるのみならず、ガラス基板を分断除去する領域に対応する部分にも別の開口部E2 を設けておく。ガラス基板の温度は開口部を設けることによって全面がほぼ均一に加熱されて場所による温度差が小さくなる。その結果、ガラス基板に発生する熱歪みを小さくでき、ガラス基板の割れを防止することができる。

請求項（抜粋）：

高温下で基板に薄膜を形成する、基板構造体の製造方法において、前記基板への前記薄膜の形成は、第1開口部及び第2開口部を少なくとも有するマスク手段を前記基板に沿うように配置した状態で行い、その後、前記第1開口部を介して薄膜が形成された部分と、前記第2開口部を介して薄膜が形成された部分とに前記基板を分断する、ことを特徴とする基板構造体の製造方法。

IPC (8件)：

C23C 14/04 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 ,  G09F 9/30 310

FI (8件)：

C23C 14/04 A ,  C23C 14/08 J ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 Z ,  G09F 9/30 310

Fターム (50件)：

2H089HA14 ,  2H089JA07 ,  2H089QA06 ,  2H089QA12 ,  2H089TA01 ,  2H089TA02 ,  2H089TA05 ,  2H090JA06 ,  2H090JA07 ,  2H092HA01 ,  2H092MA05 ,  2H092NA29 ,  2H092NA30 ,  4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BA45 ,  4K029BA46 ,  4K029BA47 ,  4K029BA50 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC15 ,  4K029DC39 ,  4K029HA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  5C094AA33 ,  5C094AA36 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA43 ,  5C094BA49 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10