特許

J-GLOBAL ID：200903045305791031

Pb含有金属酸化物薄膜パターンの形成方法

発明者： 影山 謙介 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175013
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020487
出願日： 1996年07月04日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】 ゾルゲル法により比較的膜厚の厚いPb含有金属酸化物薄膜パターンを形成する。【解決手段】 Pb含有金属酸化物薄膜パターン形成用組成物を基板に塗布して塗膜を複数層形成すると共に、下層の塗膜の上に上層の塗膜を形成するに先立って、該下層の塗膜を加熱することにより、Pb含有金属酸化物薄膜パターン形成用組成物中の加水分解性金属化合物を部分重合させ、その後、前記画像形成露光、未露光部の除去及び熱処理を行う。【効果】 下層の塗膜が、上層の塗膜形成のために塗布されたPb含有金属酸化物薄膜パターン形成用組成物に溶解することがなくなり、Pb含有金属酸化物薄膜パターン形成用組成物を重ね塗りして膜厚の厚い塗膜を形成することができるようになる。

請求項（抜粋）：

加水分解性金属化合物と光反応性添加物とを溶媒に溶解してなる、活性線の照射によりパターニングが可能なPb含有金属酸化物薄膜パターン形成用組成物を基板上に塗布し、得られた塗膜を活性線で画像形成露光し、次いで、現像液で現像して未露光部を除去した後、熱処理して露光部の膜を金属酸化物に変換させることにより金属酸化物薄膜パターンを形成する方法において、前記加水分解性金属化合物は加熱により部分的に重合するものであり、前記塗膜を複数層形成すると共に、下層の塗膜の上に上層の塗膜を形成するに先立って、該下層の塗膜を加熱することにより前記加水分解性金属化合物を部分的に重合させ、その後、前記画像形成露光、未露光部の除去及び熱処理を行うことを特徴とするPb含有金属酸化物薄膜パターンの形成方法。

IPC (6件)：

G03F 7/004 531 ,  C01G 23/00 ,  C23C 18/12 ,  C23C 28/00 ,  G02B 1/10 ,  H05K 3/10

FI (6件)：

G03F 7/004 531 ,  C01G 23/00 C ,  C23C 18/12 ,  C23C 28/00 E ,  H05K 3/10 C ,  G02B 1/10 Z