特許
J-GLOBAL ID：200903045308359750
表示パネル用プローバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181995
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029098
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】液晶表示パネル用プローバのパネル搬送中に発生する静電気による薄膜トランジスタの破壊を防止する。【構成】測定ステージ4に薄膜トランジスタパネル3を受け渡す前の所に送風する窒素の配管路にマニホールド10、金属電極9、高電圧源7からなるイオン発生器を設置し、これによって発生する正負のイオンを窒素中に含ませ、これを吹きつけることで薄膜トランジスタパネル3上に発生している静電気を中和させ、素子破壊を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
薄膜トランジスタパネル(以下TFTパネル)を測定ステージに出し入れするローダ・アンローダ部と、TFTパネルを固定する測定ステージと、測定端子に測定針を押しあてるプロービング機構と、TFTパネルの特性を計測する計測器とを有する表示パネル用プローバにおいて、搬送過程で発生する静電気を除去する除電装置を設けたことを特徴とする表示パネル用プローバ。
IPC (2件)：
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