特許
J-GLOBAL ID：200903045316667340
マスフローコントローラ流量検定システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286986
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119059
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 配管中に組み込んだままの状態でのマスフローコントローラの流量計測精度の検定を可能としたマスフローコントローラ流量検定システムを提供すること。【構成】 遮断弁3を閉じ、遮断弁9、4、2を開くと、配管内からプロセスガスが掃気され、所定圧の窒素ガスで充填される。次に、遮断弁9を閉じ、配管内の窒素ガスはマスフローコントローラを通して放出する。圧力計10の指示値が所定値となる時間を計測し、マスフローコントローラの実流量を求める。これにより、マスフローコントローラの異常を検出することができる。
請求項（抜粋）：
プロセスガス源から第1遮断弁およびマスフローコントローラを順次経由してプロセスチャンバに該プロセスガスを供給するガス配管系において、計測用ガスを供給する計測用ガス源と、入口側が前記計測用ガス源に接続し、出口側が前記ガス配管系の前記マスフローコントローラの入口側に接続する計測開始用遮断弁と、前記計測用開始遮断弁の出口側の圧力を計測する圧力計とを有し、前記マスフローコントローラへの前記プロセスガスの供給を前記第一遮断弁により遮断し、前記計測開始用遮断弁を開いて前記圧力計を所定の圧力にした後、前記計測開始用遮断弁を閉じて、前記圧力計により時間経過に伴う圧力低下を計測することによりマスフローコントローラの計測精度を検定することを特徴とするマスフローコントローラ流量検定システム。
IPC (2件)：
前のページに戻る
